SEM (Scanning Electron Microscope) -1SEM (Scanning Electron Microscope) -1

SEMとは何かをご存じでしょうか?

一般的には使用することはないかもしれませんが、業種によってはなくてはならない装置です。
SEMは「Scanning Electron Microscope」の略で、日本語では「走査電子顕微鏡」と言います。呼ぶ時は「セム」と呼んで話が通じます。

このSEMとは、どのようなものかについて、簡単に触れてみたいと思います。

この写真は直径0.35mmのワイヤーの表面をSEMで観察したものです。
左の写真を観ると、なんだか表面が非常に荒れています。拡大していくと荒れているところは表面が裂けていて、内部に凹凸のある状態を確認することができます。

このように拡大して、表面の組織がどのようになっているかを実際に観ることで、このワイヤーの表面がなぜザラザラしていたかという理由がわかってきます。更には、なぜこのような状態になったのかについて原因を推定することもできるようになります。

場合によって、この画像をメンバーや専門家の人に見てもらって議論することは、話の進行が早く、そして正確な判断をすることができるでしょう。

良いSEM像を得るには、それなりの経験値の高いテクニックが必要になりますが、最近は簡易SEMと呼ばれるような卓上型のものがあります。普通の顕微鏡感覚でSEM画像を観ることができる装置で、非常に便利な装置です。

簡易なのである程度の倍率までだったり、鮮明さについては限界が低いところはありますが、入門用としては非常に重宝します。ちなみに、先の画像は、簡易型のSEMで取得した画像です。観察するには十分な能力だと思います。

簡易型のSEMは、いくつかのメーカーで販売されています。

日本電子株式会社のJCM  Neo Scope
株式会社 日立ハイテクのTMシリーズ Miniscope
ジャスコインターナショナル株式会社のPhenom
などが主によく使用されている簡易SEMになります。

次回は、SEMの構造などについて触れてみたいと思います。

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